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真空泵挡板在真空泵中能起到什么作用?

字号+作者:admin 来源:潜水泵 2021年11月20日

安装在油扩散泵入口处以减少泵流体回流和反向迁移的装置称为挡板。泵流体的回流可以通过两种方式进入容器:空间路径和沿泵壁的蠕变蠕变。用于超高真空的挡板不仅需要光学密封...


安装在油扩散泵入口处以减少泵流体回流和反向迁移的装置称为挡板。泵流体的回流可以通过两种方式进入容器:空间路径和沿泵壁的蠕变蠕变。用于超高真空的挡板不仅需要光学密封以防止油蒸气分子通过泵入口直接进入容器,而且具有良好的防爬性能。根据挡板使用的冷却介质,可以将挡板分为水冷挡板和氟利昂挡板。前者的冷却温度为15至10°C(区域供水温度),后者常用的制冷介质包括氟利昂12和氟利昂22。使用氟利昂22的制冷设备的单极可获得40的低温。°C,辅以仲醇流,温度可达到-100°C,因此捕集泵油的回流效果更好,并且可以获得106?10Pa的真空。度,但其冷却系统需要配备相应的制冷设备。与水冷却系统相比,它昂贵,噪声大,覆盖面积大,故障率高。

当挡板和井同时使用时,使用氟利昂挡板,实际效果不佳。挡板的冷却通常有两种方法:直接冷却和间接冷却。直接冷却介质的结构如图3-51所示。散热效果好。缺点是不容易清洗,尤其是线圈和冷却板的焊接缝隙。错误的泄漏也可能发生,一旦线圈泄漏,维修将很困难。图3-52显示了间接冷却挡板。挡板由紧密连接到挡板内壁的冷却管冷却。冷却效果不如直接冷却,特别是图3-52(a)中的中间挡板。板通过焊接在其上的导热肋板冷却,冷却效果差。如图3-52(b)所示,半月隔板直接焊接在冷却桶上,导热面积较大,冷却效果优于(a)。中冷型的优点是易于加工,清洁和维护真空泵。
挡板的另一个性能指标是它应该具有较大的电导率,以便可以有效地发挥泵的抽速。有关特定电导率(每单位空气入口区域的电导率)和蒙特卡罗方法给出的不同挡板的最大次级光束角,请参见表3-20。

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