真空系统设计（机械捕集器的典型结构）

2.3.1.2机械捕集器的典型结构
如前所述,机械捕集器的基本设计要求是光学密闭(或光学屏蔽),即在分子流条件下油蒸气分子碰撞温度较低的板片而穿过它返入真空室中去;同时要有尽可能高的流导。通常用传输几率(流导几率),即通过捕集器的分子数与进入捕集器的分子数之比,来表征流导能力的大小。图2-47和图2-48为常见的几种机械捕集器(障板);而图2-49~图2-53为水冷机械捕集器。

图2-47常用的障板图2-48几种常用的障板
图2-49是具有冷却水管的机械捕集器,单百叶窗式捕集片能捕集大量的油蒸气分子,由于结构简单而得到广泛应用。这类结构的捕集片亦可用其他类型,如人字形捕集片等。图2-50是另一种机械捕集器结构,其特点是采用双百叶窗捕集片和冷却水套形式,其捕集效果与图2-49相似。图2-51为锥状环形捕集器,和图2-52类同,但没封顶,适用于扩散泵有挡油帽的情况。图2-53为倒塔形捕集器,效果较佳,应用颇广。以上是常见的几种机械捕集器的典型结构;此外,还有双折板式、折板塔式、半圆式、双曲拐式、升阀式等各种结构的捕集器,因应用较少,此不赘述。

图2-49单百叶窗式水冷捕集器