隔膜真空泵

双级隔膜泵

三级隔膜泵
隔膜真空泵是干式真空泵。曲轴驱动的连杆移动在上盖和壳体之间张紧的隔膜。上盖和隔膜之间的空间形成吸入室。隔膜泵需要入口阀和出口阀以实现目标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制断流阀构成此阀。由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质不会受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口阀和吸入室之间的固定空间产生一个受限的压缩比，这意味着，单级泵就可实现约70hPa的极限压力。串联连接的多级泵实现0.5hPa的极限压力成为可能。更低的压力无法实现，因为不再有足够的力用于打开入口阀。隔膜泵的原理特别适合于大约10m3·h-1的低抽速情况。
应用
其无烃的吸入室使隔膜泵特别适合作为具有涡轮分子泵的前级泵。甚至两级隔膜泵可实现极限压力大约为5hPa。对于涡轮分子泵的前级泵，这已足够了。清洁真空特别适用于分析和研发应用。由于无气镇，隔膜泵也不能抽出水蒸气。即使高真空设备壁解吸得少量水蒸气也可以使隔膜泵的极限压力急剧上升。然而，一些隔膜泵配备了气镇阀，该阀根据专利方法操作。为此，允许气体进入两级隔膜泵第一级和第二级之间的连接通道，而且这通过一个小孔与第一级的吸入室连接。

隔膜泵的性能数据
如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵，则必须在上游连接合适的分离器或冷阱，以防止在泵中形成大量的冷凝物。但是极限压力将会增高。
隔膜泵在其极限压力、抽速和其抽吸腐蚀性气体的稳定性上各不相同。这类泵的抽速在3和160l·min-1(0.25·h-1)之间。两级泵可实现极限压力低于4hPa，四级泵可实现极限压力低于0.5hPa。其抽速和可达到的最终压力取决于电源频率。
具有涂层隔膜和耐腐蚀壳体的耐腐蚀性气体泵适用于抽吸腐蚀性气体。
泵的命名方式以l·min-1表示抽速以及以数字表示泵的级数。