一种独创的磁力传动式真空动密封方法

磁力传动式真空动密封
磁力传动式真空动密封有两种形式：一种是磁流体真空动密封，另一种是非接触式磁力传动真空动密封。
磁流体真空动密封具有低的泄漏率，作为液体密封具有摩擦功耗小、结构简单、使用方便等优点，但它不适用于超高真空，因为超高真空系统一般要进行250℃以上的长时间烘烤，而磁流体载体耐受不了这么高的温度；另外载体也会有蒸发、凝结以及磁性微粒凝聚等问题，也可能与被密封的介质发生物理或化学作用，其使用范围受到一定限制。
而非接触式磁力传动真空动密封，在过去也有过，但仅限于传递小转矩、低转速。由于永磁材料本身的性能而限制了使用范围。自从开发了钴基稀土永磁材料后，甘肃省科学院磁性器件研究所研究了新材料的特性，并总结了一套独创的磁路设计方法，使得磁力传动真空动密封的应用得到极大的拓展，目前已经广泛地用于真空动密封技术领域。
1.工作原理及特点
磁力传动装置真空动密封的原理如图5所示。图5（a）是依靠电机带动外面磁转子旋转后，通过永磁体产生的磁力作用，将运动传递到与工作轴相连接的内磁转子上，从而实现动力传递的目的。密封是通过设置在内、外面磁转子中间气隙的隔离密封套，将内磁转子与工作轴一起封闭在真空容器内而实现的。
图5磁力传动真空动密封装置。

图8平盘式磁力传动真空动密封装置结构示意
1.滚动轴承；2.内磁转子；3.隔离密封板；4.外磁转子

图9组合式磁力传动真空动密封装置结构示意图
1.轴承导轨架；2.筒状隔离密封套；3.外滚动轴承；4.外磁转子；
5.内磁转子；6.转轴；7.法兰；8.样品托